Patents

一种集成电路制造装备通用控制系统

面向半导体制造装备功能仿真的通信协议模式配置方法

一种用于仿真系统的内部互锁管理方法及装置

并行化仿真多线程管理方法

预测洗涤产品的抗菌性能或关键成分含量的方法及装置

用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法及系统

一种原型器件库的构建及管理方法和装置

面向半导体制造装备功能仿真的批量配置文件管理方法

一种用于仿真系统的配置数据的存储管理方法和装置

刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法